走査型プローブ顕微鏡

出典: オーラルペディア

走査型プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microscope）とは、探針という先端の尖った針をナノメートルレベルで試料表面に近接させ、三次元形状を高倍率で観察したり、物性分析を行ったりできる顕微鏡の総称をいいます。 SPMの分解能は、水平距離で数nm～100μm程度、垂直距離では10pm～10数μm程度となっており、非常に微小な領域の観察や分析が可能です。 SPMでの測定においては、探針と試料間で検出される様々な物理量を利用していますが、原子間力を利用する原子間力顕微鏡（AFM）やダイナミックフォースモード（DFM）、トンネル電流を利用する走査型トンネル顕微鏡（STM）、表面電位を利用する表面電位顕微鏡（KFM）等、多くの種類があります。